FAQ_02

FAQ (2/4)FAQ

エリプソメーターのデータを使わずに、分光器のデータ（例えば、反射率および／あるいは透過率）のみを使うことで、厚い基板上の薄膜の屈折率と消衰係数を決定することは可能ですか。

可能です。測光データ（分光器の反射率および／あるいは透過率）のみを使って計算することや、エリプソメーターのデータのみを使うこと、あるいはそれらの両方を組み合わせて（測光＋偏光解析）計算することが可能です。サンプル例題にも含まれています。

OptiLayerで取り扱える最大層数は何層ですか。

何層でも可能なので複雑な問題も解決できます。正確には、現在のバージョンでは65,535層で制限がかかりますが、それでルゲートフィルターも設計することが可能です。

OptiLayerでは成膜材料のデータを提供されていますか。

多くの成膜材料、ガラスや基板の光学定数を含んだCatalogを提示しており読み出すことができます。すべての材料について、データの出所も記載しています。

自分自身で光学定数ファイルを作成することは可能ですか。

ご自身で使われる材料の光学定数を表、あるいは数式の形式で定義することは可能です。必要であればそれらの光学定数を、例えば「MyCatalog」というような名前を付けたディレクトリに保存することもできます。

遠紫外線および極紫外線の仕事をおり、使用する波長は数nmです。OptiLayerはこのような波長範囲の特殊な仕様でも計算することは可能ですか。

OptiLayerはどのような波長範囲でも計算可能です。最新バージョンではEUVやX-ray関して特別なサポートをしており、見通し角の概念を取り入れ、屈折率はＸ線用途に適した形で指定することができます。コーティングの"analysis"と"refinement"の計算で各層の中間拡散層と不均質性を指定することも可能です。

特定の波長および角度範囲で反射率、あるいは透過率のターゲット（s,p共に、あるいは平均偏光)を約200点設定して最適化する必要があります。他にもさまざまな波長と入射角で反射率と透過率を組み合わせて設計する必要性もあります。高反射率帯と低反射率帯に高透過率帯と低透過率帯を組み合わせたような複雑な設計は可能ですか。

OptiLayerはどのような波長範囲や角度範囲においても、反射率、透過率、s偏光、p偏光、平均偏光などの異なる複雑なターゲットを設定することができます。また、位相、群速度、群速度遅延分散、電界強度、色度などのターゲットも指定できます。OptiLayerで使われている機能はすべて確認・証明しており資料もあります。
　　http://www.optilayer.com/about-us/publications

OptiLayerは、初期パラメーターや膜構成を簡単に保存したり、グラフやテキスト形式でエクスポートしたりすることは可能ですか。

もちろん可能です。OptiLayerは他のソフトウェアーと互換性のある形式でインポート／エクスポートすることができます。同様に設計データやターゲット、材料のデータを異なる形式で保存することも可能です。また、作成したデータをエクセルや他のスプレッドシートにエクスポートすることも可能です。

平行に複数枚配置されたガラスの反射率を最小にするために、反射防止コーティングを設計する必要があります。それぞれのガラスの屈折率と厚さは異なっています。この場合の設計はそれぞれのガラスに対して行うのでしょうか。またガラスは平均厚さを使うのですか。他の方法はありますか。

もちろんもっと良い方法があります。このような構成に対しOptiLayerは基板厚み、屈折率のみ指定することで自動的に計算させることが可能です。メニューの"Stack"を開いて指定して下さい。使用例もありますのでOptiLayerのマニュアルにある"Advanced Example 16"をご覧下さい。詳しくはhttp://www.optilayer.com/stacksでもご説明しています。

成膜後の膜特性に関して問題を抱えています。次回のOptiLayerのWorkshopにこの問題を持って参加したいと思っているのですが、Workshopの開催中のこのような問題を秘密で相談することはできるのでしょうか。

OptiLayerはどのような波長範囲や角度範囲においても、反射率、透過率、s偏光、p偏光、平均偏光などの異なる複雑なターゲットを設定することができます。また、位相、群速度、群速度遅延分散、電界強度、色度などのターゲットも指定できます。OptiLayerで使われている機能はすべて確認・証明しており、その資料も存在します。
　　http://www.optilayer.com/about-us/publications