taReo 成膜監視・解析および自動化制御DLLSoftware configuration
構成
taReoは成膜中に層の分光特性データを受取り、設計とのズレを解析後、次層の最適な成膜条件を成膜制御側のソフトウェアにフィードバックするためのDLL集です。
この種のソフトウェアとしては、従来にない高速計算が可能となったため、処理速度は層数に依存せず、処理中に数千のデータポイントを含む複数のスペクトルが存在する高速性を要求されるなプロセスであっても、広帯域光モニタリングで制御できる可能性があります。
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