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Target:反射率=0% (400-800nm)
基板材料:GLASS (n=1.52)
膜 材 料:H= TiO2 (n=2.35)
L= SiO2 (n=1.46)
設計初期値:2層膜H(100nm)、L(300nm)
最適化方法:Needle Auto
途中経過はMerit function 順にHistoryに保存される。#8, #6, #4, #2, #1の分光特性を示す。 |
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左のHistoryから12層膜を最終設計として選択すると上記(2)の分光特性になる。MFは14層構成よりやや大きいが、実用上十分である。
膜構成は基板側から1〜12の順に並んでおり各層の膜厚は物理膜厚、光学膜厚、FWOT、QWOTで示してある。 |
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