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OptiChar
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単層膜の分光特性またはエリプソメータのデータから膜の分散特性、消衰係数を求めるソフトです。測定データから膜の不均質性や充填率を予測することができます。
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既知の基板に成膜した単層膜の屈折率特性を計算する |
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Coming Soon! |
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| OptiChar使用例1：既知の基板に成膜した単層膜の屈折率特性を計算する |
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透過データと組み合わせるとkの分光特性を求めることができる
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| BK7基板の屈折率とk (規定値) |
単層膜の反射特性実測値 |
BK7のデータはCatalogオプションから取得
青線：屈折率、赤線：消衰係数(k) |
SiO2単層の分光反射特性の実測データ |
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| 計算で求めた単層膜の屈折率特性 |
Fitting計算値 |
計算結果から求めた屈折率特性 |
測定データにFittingする膜定数の計算結果 |
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| 計算で求めた単層膜の不均質特性 |
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計算結果から求めた屈折率不均質特性 |
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