| 1. |
光学モニターの改良 (OptiLayer)
OptiLayerは各種モノクロ光源に対す る光学モニター信号のspreadsheetを自動的に作表する世界で始めてのソフトウェアです。モニタ方法は3つの方式から選びます。
Strategy 1:シャッタ閉信号を発生する最大感度のモニター波長を自動的に選択する方式
Strategy 2:前の層の膜厚誤差をできるだけ小さくするための新しい方式
この方式についての解析は次の論文を参照のこと
A.Tikhonravov, M. Trubetskov, and T. Amochkina "Statistical approach to choosing a strategy of monochromatic monitoring
of optical coating production" , Applied Optics, Vol.45, pp.7863-7870,
2006
Strategy 3:直視型モニターと間接モニターのそれぞれの長所を組合わせる方法
新しいアルゴリズムに基づいて、シャッター閉にする直視型モニター方式の信号レベル補正値を計算しています。このアルゴリズムについては次の発表論文を参照してください。
A. Tikhonravov and M.Trubetskov, "Elimination of cumulative effect of thickness errors in monochromatic
monitoring of optical coating production" , Applied Optics, Vol.46,
pp.2084-2090, 2007
|
| 2. |
成膜シミュレーションによる製造歩留まり予測計算 (OptiLayer)
成膜歩留まりを調べる強力なツールはコンピュータによる製造シミュレーションです。OptiLayerは実際の製造条件をシミュレートしてコンピュータで成膜実験をおこなうことができる唯一のソフトウェアです。新バージョンでは、モノクロ光源の光学モニターによる成膜をシミュレートします。広帯域光源の光学モニターによる成膜シミュレーションには根本的に改良が加えられました。シミュレーションの項目としては蒸着レートの不安定性、蒸着材料の屈折率が理論値からの変動、膜の不均質性、シャッター閉の時間遅れなどがあります。また、膜の反射率や透過率の測定データのランダム誤差、モニター信号のふらつき、モニター装置の校正ドリフトなどがどの程度かを指定することができるようになっています。
|
| 3. |
短波長光学への適用 (OptiLayer)
新バージョンではX線用薄膜についても計算できるようにいくつか修正を加えました。使用できる波長範囲を前バージョンより短波長側まで広げることができるようにし、入力する波長の桁数を増やしました。このために波長表示の桁数を増やし、波長単位として新たに(keV)を加えました。
|
| 4. |
Thin Film Removalを使いやすく変更 (OptiLayer)
OptiLayer オプションでは実際に成膜しやすい膜設計が得られるよう機能を強化しました。Thin
Layer Removal モードでは、メリット関数の値をやや大きく設定することにより設計に現れる全ての薄い層を自動的に除去したり、指定の膜厚以下になる全ての層を削除したりすることができるようになりました。
|
| 5. |
Plot Engineの機能強化 (Plot Engine)
Plot Engineは機能を再設計して以前より強力な描画ツール(Plot Engine IIとして)生まれ変わりました。画面を1ステップずつ前の状態に戻ることができるようにしました。新バージョンでは従来のPlot
Engineデータがそのまま使える旧タイプの描画機能か機能性の高い新タイプの描画機能のいずれかを選べるようになっています。Plot
Engineは機能を再設計して以前より強力な描画ツール(Plot Engine IIとして)生まれ変わりました。画面を1ステップずつ前の状態に戻ることができるようにしました。新バージョンでは従来のPlot
Engineデータがそのまま使える旧タイプの描画機能か機能性の高い新タイプの描画機能のいずれかを選べるようになっています。
|
| 6. |
GDやGDDのデータから膜構成の分析 (OptiRE, OptiChar)
超短パルスの応用や、光通信の応用分野でますます重要性が増してきています。OptiRE(Reverse
Engineering)ではGD(Group Delay)およびGDD(Group Delay Dispersion)の測定データを取り込む機能を加えました。同様に、OptiChar(Optical
Characterization)でもGDやGDDのデータ解析ができる機能も導入しました。
|
| 7. |
データベースの改良、出射媒質の規定 (OptiLayer)
ユーザーが使いやすいようにデータベースとメニュー項目を作り直しました。共通のデータベースとして基板材料、入射媒質、Design、BS
Coatingを一個のデータベースにまとめ、それぞれのデータをマウスの右クリックでLOADできるようにしました。新しくOptiLayerでは出射媒質を入力できるようにしました。基板に裏面コーティングしたとき、出射側の媒質を選ぶことができます。
|
| 8. |
基板の光学定数として内部透過率、ODのデータが使用可能 (OptiLayer)
簡単にデータ編集をするために、マウスとSpinner Controlだけで数値データを入力して編集できるようになりました。これによってデータを1個1個入力する必要がなく一時的にKeyboardが使えない場合でも簡単に編集できようになります。また基板の消衰係数の代わりに内部透過率やOptical Densityを使用することもできます。SpreadsheetのImのプルダウンメニューから希望の表示が選択できます。
|
| 9. |
ウインドウ上に複数の画面を表示 (OptiLayer, OptiChar, OptiRE)
このソフトはデスクトップ上に複数の画面を表示できるマルチ画面表示機能を備えており、各画面を同時に監視することができます。新バージョンではそれぞれの画面の縦横軸が保存され、マルチ画面レイアウトに記録されるので、いつでも必要な画面を自由に選んでデスクトップに表示することができます。
|
| 10. |
ファイル/データのImportとExport機能改善 (OptiLayer)
OptiLayerモジュールのImportとExportの機能を改善しました。File Transferオプションでは複数のデータファイルを同時に転送することが可能になりました。Ctrlキーを押しながら転送するファイルを選択し、転送先のProblem Directoryを選んでマウスをクリックします。
OptiREのMulti-Scanデータimportは測定データベースからマルチスキャン測定値を読み込むか稼動中のX,Yデータを直接取り込むかすることができます。
|
| 11. |
膜の屈折率と消衰係数の波長分散 (OptiChar)
OptiCharでは膜の屈折率(n)と消衰係数(k)の波長依存性を求める際、旧バージョンに比べて一層使いやすくフレキシブルな計算ができるようになりました。従来のように複雑なパラメータを指定しなくてもUVからIRまでの波長依存性が求められます。また、求める波長範囲でグリッドポイントの数を指定する機能を追加しました。
|
| 12. |
Windows Vistaへの対応 (OptiLayer, OptiChar, OptiRE、Plot Engine)
OptiLayerの全てのモジュールはWindows Vistaにも対応します。ソフトウェアをインストールすると自動的にVistaを検知してデータを読み込みます。Vistaではソフトウェアのインストール先は
C:\Users\Public \Documents\OptiLayer となります。
|
| 13. |
計算速度向上など (OptiLayer, OptiChar, OptiRE、Plot Engine)
このほかにコンピュータの計算効率を改善するために多くの改良が加えられました。特にAMDプロセッサー(SSE3セット)が搭載されているPCでは計算速度が20%改善されます。従来ノートパソコンはパワーマネージメントモードで使用されていたが、OptiLayerを稼動させた状態でふたを閉じるかまたはスタンバイモードにセットしたほうが安心です。これは使用しないネットワークや外部接続を探す時間の無駄をなくすことで、立ち上げ時間を短縮する効果があります。
|