| 1. |
Needle法による最適化計算の効率が一層向上
非常に薄いNeedle層を挿入することができるようになったので、超多層構成の複雑なフィルタの設計が可能になりました。
|
| 2. |
Rugate Filterの設計Option追加
新しくRugate設計のOptionが加わりました。ここでは高度な数学的アルゴリズムが組み込まれているので、予め屈折率プロファイルの形状を与えておく必要がありません。スライダつまみを動かすだけの操作で滑らかな屈折率プロファイルを形成することができます。
|
| 3. |
コーン状の入射ビームに対する計算
OptiLayerの全ての解析オプションで、コーン状の入射ビームについて計算できるようになりました。（Cone
Angle Averaging）この編集機能を使用すると任意の入射光の形状を規定することができます。
|
| 4. |
膜厚モニター光源の種類による誤差解析オプション
成膜工程の誤差解析オプション(Pre-production Error analysis)として2つのオプションが加わりました。すなわち膜厚モニタの光源として広帯域光源を使った誤差解析と単一波長を使った誤差解析です。この解析手法は新しい理論に基づいています。
参考文献
1) A.Tikhonravov, M.Trubetskov and T.Amotchkina,“ Investigation of the effect of accumulation of thickness errors in optical coating production by broadband optical monitoring” Applied Optics, Vol.45,pp7026-7034, September 2006]
2) A.Tikhonravov, M.Trubetskov and T.Amotchkina,“Statistical approach to choosing a strategy of monochromatic monitoring of optical coating production” Applied Optics, Vol.45, October 2006]
|
| 5. |
Plot Engine機能拡張
OptiLayerソフトに特別な表示モジュールを加えました。
○ コーティング軸を追加→各種数値の膜厚依存性が見やすくなります。
○ 電界強度の2D、3D表示→コーティング軸を利用するとチャープミラーやフェムト秒分野の研究に役立ちます。
○ Color Characteristicsの機能→膜厚、入射角などを変えると色がどのように変わるかがわかります。
○ アドミッタンスの実数および虚数成分を表示し図示することができます。
|
| 6. |
データベースの容量拡大
OptiLayerの各databaseの最大容量が799項目に増えました。そのため、設計モードでHistoryやCollectionで100ｹ分の設計を記憶します。(従来は50ｹ分)
さらに大容量の材料データベースについて高速に処理できるようになりました。
|
| 7. |
Constrained Optimizationの改良
OptiLayerの制限付き最適化(Constrained optimization)モードが非常に使いやすくなりました。Constrained
optimizationの画面はモードに関係なく画面の大きさが自在に変えられます。変更した表の値はOptiLayerを再起動させると自動的に読み込まれます。表には”Apply
& Run”ボタンに替えて“OK”ボタンがあり、表を閉じなくても計算を続けることができます。つまり、Constrained
optimizationの計算途中でも制限条件を付加させることができるようになりました。
|
| 8. |
ターゲットのグリッド数の自動設定
Target編集画面にターゲットのグリッドポイント数を自動的に作成することができます。
従来はターゲットのポイント数が少ないと最適化に時間がかかっていましたが、本バージョンでは、スペクトル幅と全光学膜厚を見て自動的にポイント数を計算します。
|
| 9. |
OptiCharのUpgrade
OptiCharでは基板に新しいn(λ),k(λ)モデルが加わりました。数学的な分析によると基板のnおよびkは複雑な波長依存の式を用いる必要がありません。基板のnおよびkは基本的に波長に依存して増加するモデルになっています。任意の波長におけるnとkは上記モデルから自由に求めることができます。
|
| 10. |
OptiREに機能追加
OptiREではいくつかの機能を追加しました。
○ 吸収を含む膜材料についても計算ができます。そのために各種消衰係数のモデルが導入されました。
○ OptiREの改編に伴なってReport画面とGeneral Informationの画面が変わりました。
Viewメニューで消衰係数を表示する画面が追加されました。
|
| 10. |
その他の改良点
| ○ |
OptiLayer, OptiChar, OptiREとも日本語、韓国語、中国語表示ができます。 |
| ○ |
全てのReportのヘッダーにProblem Directory や Root directory情報が記入されます。 |
| ○ |
グラフ画面において縦、横軸を自由に設定することができます。 |
|
